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位置靈敏探測(cè)器PSD （Position Sensitive Device） 屬于半導(dǎo)體器件, 一般做成PN結(jié)構(gòu),具有高靈敏度、高分辨率、響應(yīng)速度快和配置電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。
軟X射線探測(cè)器的軟X射線可直接照射探測(cè)器，無需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換，$n按可檢測(cè)X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要，分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列，Z低可檢測(cè)0.04nm的軟X射線，擁有快速響應(yīng)的探測(cè)器，響應(yīng)速度達(dá)到ps量級(jí)，多元陣列，積分放大電路，并可根據(jù)需要集成帶通濾光片，四象限位置傳感器（Quadrant PSD）
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