德國(guó)Xiton 公司的Ixion-193-SLM激光器的特點(diǎn)：

- 使用超級(jí)簡(jiǎn)便：用戶只需在圖形化的軟件界面上即可完成操作

- 可適應(yīng)7天24小時(shí)工業(yè)化應(yīng)用

- 窄線寬，長(zhǎng)相干長(zhǎng)度

- 標(biāo)準(zhǔn)輸出193.368nm，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長(zhǎng)值。

- 波長(zhǎng)在10pm(80GHz)范圍內(nèi)可調(diào)諧

- 可增配內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)調(diào)諧的絕*值

產(chǎn)品規(guī)格

那么建議用戶如何選配和下單呢？

下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長(zhǎng)值是如何實(shí)現(xiàn)的：

Ixion-193-SLM深紫外窄線寬全固態(tài)激光器是基于兩臺(tái)單頻種子激光做倍頻與和頻處理后獲得，我們列舉一些簡(jiǎn)單運(yùn)算：

1064nm一號(hào)種子激光五倍頻到213nm；再和二號(hào)1760nm種子激光和頻,即可得到單頻的190nm激光

1064nm一號(hào)種子激光五倍頻到213nm；再和二號(hào)2308nm種子激光和頻,即可得到單頻的195nm激光

需要說(shuō)明的是，二號(hào)1760nm種子激光和二號(hào)2308nm種子激光不是同一臺(tái)激光，對(duì)于用戶而言，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長(zhǎng)值(可精確到小數(shù)點(diǎn)后第三位）；廠家接單后即可選擇一號(hào)與二號(hào)種子激光的波長(zhǎng)組合，達(dá)成客戶指定的指標(biāo)，下單即意味著確定一個(gè)固定的中心波長(zhǎng)了。

我們以訂購(gòu)量多的ArF準(zhǔn)分子激光特征譜線193.368nm波長(zhǎng)來(lái)舉例說(shuō)明：  

1064nm波段我們定義為種子激光一號(hào)，比如這臺(tái)激光我們把它穩(wěn)頻到1064.4nm波長(zhǎng)，后面組建5倍頻光路，獲得5倍頻輸出為212.88nm；

我們?cè)龠x擇一臺(tái)2100nm波段的種子激光二號(hào)，并將其調(diào)諧穩(wěn)頻到2109.7nm,與剛才的5倍頻輸出的212.88nm組建和頻光路，即可獲得193.3681nm單頻輸出。

如果1064nm種子激光一號(hào)的中心波長(zhǎng)稍有變化，相應(yīng)改變種子激光二號(hào)的波長(zhǎng)仍可達(dá)成193.368nm單頻激光輸出的目標(biāo)。

到貨后Ixion-193-SLM激光器80GHz（10pm）的波長(zhǎng)可調(diào)諧是如何實(shí)現(xiàn)的：

從機(jī)理來(lái)說(shuō)，調(diào)諧1064nm一號(hào)種子激光或2100nm二號(hào)種子激光均可能達(dá)成最終193.368nm激光在10pm(即80GHz）范圍內(nèi)波長(zhǎng)可調(diào)；但合理的選擇是調(diào)諧2100nm二號(hào)種子激光。

原因很簡(jiǎn)單，舉例來(lái)說(shuō)，如果調(diào)諧了1064nm一號(hào)種子激光10GHz，就意味著五倍頻213nm輸出的50GHz的變化，首先很容易喪失穩(wěn)頻狀態(tài)而需要重新穩(wěn)頻；其次1064nm基頻調(diào)諧后意味著二倍頻到三倍頻到五倍頻的聯(lián)動(dòng)調(diào)諧，耗時(shí)更長(zhǎng)且配合復(fù)雜。

所以*合理的方法是調(diào)諧2100nm二號(hào)種子激光的波長(zhǎng)后，與保持不變的1064nm波段一號(hào)種子激光五倍頻后的213nm激光和頻，達(dá)到最終193.368nm單頻激光輸出10pm(即80GHz）范圍內(nèi)波長(zhǎng)可調(diào)的目的。

增配選項(xiàng)Option 4-LP可為用戶拓展波長(zhǎng)可調(diào)諧范圍到70pm(即560GHz)：

如果用戶認(rèn)為標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)的10pm（80GHz）波長(zhǎng)調(diào)諧范圍不夠，客戶可增配選項(xiàng)Option 4-LP可為用戶拓展波長(zhǎng)可調(diào)諧范圍到70pm(即560GHz)。實(shí)際上是廠家出廠前提前校準(zhǔn)了四組種子激光一號(hào)與種子激光二號(hào)的工作參數(shù)，此后用戶就可以調(diào)用四組參數(shù)，分別可達(dá)成4段范圍的波長(zhǎng)調(diào)諧，以擴(kuò)展波長(zhǎng)調(diào)諧范圍。大致工作模式是先調(diào)用參數(shù)，調(diào)諧種子激光一號(hào)到一個(gè)新的波長(zhǎng)，重新溫度相位匹配二到五倍頻，調(diào)諧種子激光二號(hào)再和頻達(dá)成新波段調(diào)諧。對(duì)于193.368nm標(biāo)注型號(hào)10pm可調(diào)諧范圍產(chǎn)品而言，增購(gòu)了Option 4-LP選項(xiàng)大致可在193.330nm到193.400nm范圍內(nèi)70pm可調(diào)諧。

增配選項(xiàng)Option WL-Scan可為用戶拓展波長(zhǎng)掃描功能：

我們把Xiton公司的xLASER激光控制軟件右上部分放大給您看，這個(gè)角落就是WL-Scan波長(zhǎng)掃描參數(shù)控制欄，您可以設(shè)置波長(zhǎng)調(diào)諧的起始和終了位置，波長(zhǎng)掃描步長(zhǎng)（最小10fm)和間隔時(shí)間。

需要說(shuō)明的是Ixion-193-SLM所有相位匹配（從倍頻到五倍頻，以及*后一級(jí)的和頻）均采用溫度匹配方式。溫度匹配的突出優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定，但相對(duì)的缺點(diǎn)是耗時(shí)較長(zhǎng)。您大致可以按溫度匹配需要2秒時(shí)間預(yù)估，也就是說(shuō)WL-Scan波長(zhǎng)掃描每一步均需要2秒以上的時(shí)間。

增配內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)選項(xiàng)Option Wavemeter：

我們?nèi)匀挥肐xion-193-SLM出貨量*大的193.368nm最終輸出波長(zhǎng)為例：用戶增配的內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)選項(xiàng)Option Wavemeter實(shí)際上是在激光器內(nèi)部增加了兩臺(tái)激光波長(zhǎng)計(jì)，同時(shí)檢測(cè)一號(hào)種子激光（1um seeder)和二號(hào)種子激光（2um seeder)，并根據(jù)以上兩個(gè)實(shí)測(cè)值換算出激光器最終輸出值;見(jiàn)本實(shí)例圖。實(shí)測(cè)到當(dāng)下一號(hào)種子激光（1um seeder）的輸出為1064.430421nm，也就是說(shuō)5倍頻后的輸出為212.886084nm；此5倍頻輸出與二號(hào)種子激光（2um seeder)2109.089276nm和頻，運(yùn)算結(jié)果即為最終輸出值193.368011nm。

小結(jié)如下，從設(shè)備選型上看： 

 Ixion-193-SLM設(shè)備內(nèi)部選型主要考量在平均功率與光譜線寬上做權(quán)衡。

增配內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)選項(xiàng)Option Wavemeter一般是首先考慮的選項(xiàng)，可以實(shí)時(shí)測(cè)量當(dāng)前激光輸出波長(zhǎng)值。Xiton公司在激光器出廠時(shí)標(biāo)定激光器輸出波長(zhǎng)準(zhǔn)確度到1pm，舉例193.368nm；隨著激光器的長(zhǎng)時(shí)間工作，波長(zhǎng)會(huì)逐漸有微小的漂移，長(zhǎng)期漂移量約5-10pm；如果沒(méi)有內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)選項(xiàng)Option Wavemeter，用戶無(wú)法知道當(dāng)前具體漂移了多少。

再根據(jù)需要考慮是否增加波長(zhǎng)掃描Option WL-Scan選項(xiàng)和擴(kuò)展掃描波段Option 4-LP選項(xiàng)

先鋒科技作為 Xiton Photonics 中國(guó)區(qū)核心合作伙伴與授*服務(wù)商，重磅引入并提供 Xiton 深紫外納秒固體激光器等多款旗艦產(chǎn)品的銷售、技術(shù)支持與一體化解決方案，助力國(guó)內(nèi)科研院所、半導(dǎo)體及精密檢測(cè)行業(yè)發(fā)展，讓國(guó)內(nèi)客戶同步享有德國(guó)原廠的激光技術(shù)與高品質(zhì)保障。