性能特征：

　　1、X射線激發(fā)系統(tǒng)：垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)。

　　2、快速、精確的分析：大面積正比計(jì)數(shù)探測(cè)器和博曼儀器50瓦微聚焦X射線光管（X射線光束強(qiáng)度大、斑點(diǎn)小，樣品激發(fā)佳）相結(jié)合。

　　3、準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng)：可同時(shí)裝配4種規(guī)格的準(zhǔn)直器。

　　4、長(zhǎng)期穩(wěn)定性：自動(dòng)熱補(bǔ)償功能測(cè)量?jī)x器溫度變化并做修正，確保穩(wěn)定的測(cè)試結(jié)果。

　　5、例行進(jìn)行簡(jiǎn)單快速的波譜校準(zhǔn)：可自動(dòng)檢查儀器性能（例如靈敏性）并進(jìn)行必要的修正，堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)，可在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線上操作。

　　6、簡(jiǎn)單的元素區(qū)分：通過次級(jí)射線濾波器分離元素的重疊光譜，性能優(yōu)化。

　　7、可分析的元素范圍大：預(yù)置800多種容易選擇的應(yīng)用參數(shù)/方法。

　　8、測(cè)厚范圍可測(cè)定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用，基本分析功能采用基本參數(shù)法校正。

　　9、樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)。

　　

　　半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀精密度測(cè)試，精密度表示對(duì)同一個(gè)對(duì)象進(jìn)行多次測(cè)量，表征測(cè)試結(jié)果分散程度的物理量，它是一個(gè)與多次測(cè)試數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差有關(guān)的物理量。目前，對(duì)一組具有嵌套性或不具有嵌套性的數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差求解問題的研究已經(jīng)相當(dāng)成熟，對(duì)測(cè)量設(shè)備精密度的研究可以轉(zhuǎn)化為對(duì)測(cè)量設(shè)備測(cè)試數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)偏差的求解。使用成熟的數(shù)據(jù)處理方法研究比較新的高精度設(shè)備的精密度是一種簡(jiǎn)單可行而又科學(xué)的方法。